TURBO PUMP・CONTROLLER 修理
Alcatel、Pfeiffer、Adixen、BALZERS、Ebara 、Leybold、Mitsubishi 、OSAKA VACUUM、Rigaku 、Seiko Seiki、Shimadzu、ULVAC、Varianなどの多くのメーカー品の修理やExchange、中古販売の対応が可能です。 お問い合わせお待ちしております。
修理オーバーホール
ターボポンプは高速回転するタービン型の羽根車で、気体分子に運動量を与え、下流へ送り出すシステムの事で大気圧下で負荷が大きいため、ドライポンプや
ロータリーポンプなどのフォアポンプと組み合わせて使用します。
| Alcatel | 796-900675-102 796-900675-102RevB ACT1300 APT80 APT100 APT150 APT300 APT400 APT900 APT5150 APT5400 APT5402CIS ATH400M ATH1600H ATH1600M ATH1300M ATH2300M |
|---|---|
| BALZERS | PMP02 TMU065 |
| Ebara | ET300C ET300P ET300PD ET300UZ ET300W ET300WS ET450C ET500WS ET600D ET600H ET600P ET600WS ET601H ET800 ET800H ET800WS ET801H ET1600 ET1600WS |
| Leybold | MAG 400 MAG 900 MAG 1200 MAG 2000 MAG 2010CHT MAGW 830 MAGW 1300C MAGW 1500CT MAGW 2000 MAGW 2010CHT TW250S TW701 T1600 TURBOVAC50 NT150/360 NT340M NT1601 |
| Mitsubishi | FT700･(A1K1) FT800W ･(A1K1) FT1200W･ (A1K1) FT1400W ･ (A1K1) FT2200W FT3000W FT3300W FT3301W PT150 PT1500 FTI-1200W-T7 FTI-3001W-T8 FTI-700 PTI-1500-T7 PTI-1500-T8 PTI-1500-T9 |
| OSAKA VACUUM | TG050 TG220F TG550 TG700M TG900M TG1000M TG1103M TG2000M TG2001M TG2203M TG2300M TG2400M TH532 TS443 TC1810 TD3251 |
| PFEIFFER VACUUM | THP2101PCX TMH063 TMH064 TMH064P TMH071P TMH240 TMH260 TMH260P TMH261 TMH261P TMH262 TMH520 TMH520P TMH520SG TMH521 TMH521P TMH521YP TMH521UPX TMH1001P TMH1600PC TMH1601P TPH240 TPH510U TPH1201P TPH1501P TPH1600 TPH2101PCX TPH2301PCX TPU060 TPU062 TPU065 TPU170 |
| Rigaku | RTP300VRC RTPG151 |
| Seiko Seiki | STP-200C STP-300 STP-300C STP-301C STP-301CB1 STP-301CB3 STP-301CV STP-301CVB STP-301CVJ STP-400 STP-400C STP-451 STP-451H STP-600C STP-603C STP-1000 STP-1000C STP-1003C STP-2001C STP-2002C STP-A803C-U STP-A803H STP-A1303C STP-A1303W1 STP-A1603C STP-A2203 STP-A2203C STP-A2203KV STP-A2203LVS STP-A2203PV STP-A2203WA STP-A2503C STP-A2503CV STP-A3003C STP-A3003K STP-A3003KV STP-A3503C STP-A3503WAV2 STP-F2203C STP-H200C STP-H200K2 STP-H200W STP-H300C STP-H301C STP-H400C STP-H451C STP-H600C STP-H600C1 STP-H600C2 STP-H601C1W STP-H751E STP-H803C STP-H803WA STP-H1000C STP-H1000WA STP-H1301C STP-H1303C STP-H1303CV2 STP-H1303CV3 STP-H2000C STP-H2001 STP-H2001C STP-H2001K1 STP-H2001K1B STP-H2001CK1B STP-H2002C STP-H2002WAV STP-H2003C STP-XA2603C STP-XA2703C STP-XA2703CV STP-XH2603C STP-XH2703C STP-XH3203P SCU-300 SCU-301H SCU-H600C SCU-750 SCU-800 SCU-803C SCU-A803C SCU-H803C SCU-1000 SCU-1003C SCU-1500 SCU-2002C SCU-A2203C |
| Shimadzu | TMC 1003MC TMP35 TMP50 TMP70 TMP151 TMP200CM TMP200LM TMP202LM TMP203LM TMP203M TMP280L TMP303LM TMP303LMC(A1) TMP303M TMP340M TMP361 TMP403LM TMP450 TMP550L TMP600 TMP802 TMP803 TMP803M TMP1000C TMP1000L TMP1000LK TMP1002 TMP1002LM TMP1003LM TMP1100C TMP1303LMC TMP1500L TMP2003 TMP2003LM TMP2003LMEC-K1 TMP3003LM TMP3003M TMP3202LMC-K1 TMP3203LMEC-K1 TMP3203LM-N1 TMP3403 TMP3403LMC-T1 TMP3603LMC TMP3603LMC-A1 TMP10023LM TMPH3603LMC EI-1002M EI-303M EI-3403MD EI-D203M EI-D303M EI-R04M EI-R04MT |
| ULVAC | UTM150 UTM300 UTM500 UTM2300FW UTM3301W UTM3302FH |
| Varian | TV300HT TV301 V200A V250 V250HT V300HT V551 V701 V1000 V1000A V1000HT V1000ICE V1001 V1001HT V1800A VAC361C VAC450 |