CRYO PUMP修理
メーカーは、アルバック・クライオ（ULVAC CRYOGENICS）、エドワーズなどあり、多くのメーカー品を修理やExchange、中古販売の対応が可能です。 お問い合わせお待ちしております。
修理オーバーホール
クライオポンプ（CRYO PUMP）はガス分子を極低温の表面に吸着させて排気する方式をとった真空ポンプの１種。
オイルや機械的な可動部分を使わずに真空を再現できるため、クリーンかつ、高真空〜超高真空が必要な工程に適している。
主にPVD（スパッタリング）装置や CVD装置、イオン注入装置で使用されるケースが多い。
| CanonANELVA | CAP-120MKⅡ CAP-121 CAP-80 CAP-80MKⅡ CAP-83R P-086C P-08シリーズ P-10シリーズ P-12シリーズ |
|---|---|
| HELIX | 8185037G001 8185037G002 8185095G001 8185095G001R 8185095G002 8185095G002R CT-10 CT-100 CT-10F CT-250F CT-400 CT-8 CT-8F OB-10 OB-10F OB-250F OB-300 OB-4 OB-400 OB-4F OB-6 OB-8 OB-8F OB-IS 250F OB-IS 320F OB-IS 8F OB-RetroFast Water Pump |
| ULVAC | U-6シリーズ U-8シリーズ U-10シリーズ U-12シリーズ U-16シリーズ U-20シリーズ U-22シリーズ U-26シリーズ U-30シリーズ U-32シリーズ |
| ダイキン | V-204シリーズ V-208シリーズ |