クライオポンプ修理
各種メーカーの修理に対応。
PUMP修理オーバーホール
クライオポンプ（CRYO PUMP）はガス分子を極低温の表面に吸着させて排気する方式をとった真空ポンプの１種。
オイルや機械的な可動部分を使わずに真空を再現できるため、クリーンかつ、高真空〜超高真空が必要な工程に適している。
主にPVD（スパッタリング）装置や CVD装置、イオン注入装置で使用されるケースが多い。
| Helix（Edwards） | CT-250F、CT-100、CT-400 OB-8(F)、OB-10(F)、OB-250F、OB-400 OB-IS 8F、OB-IS 250F、OB-IS 320F P300、Water Pump |
|---|---|
| Anelva | CAP-80(MKII)、CAP-83R P-08シリーズ、P-10シリーズ、P-12シリーズ |
| ULVAC | U6シリーズ、U8シリーズ、U10シリーズ U12シリーズ、U16シリーズ |
| ULVAC | UKZ8L3C/3S |