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一定の比率で混合した薬液を供給・処理する HF4ライン供給装置

製品の基本情報など

目的 CMP洗浄装置に一定の比率で混合した薬液を供給処理。
構成 ①秤量タンク　
②ミキシングタンク　
③供給タンク
外観寸法 1000(W)×1200(D)×1920(H)
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